高精度．安定性．机能性卓越适合于FPD基板·晶圆硬盘等的微细形状、段差、粗度测定的机型。

是多机能的全自动微细形状测定机，针对用途及样品尺寸有多种机型可供选择。

ET4000A/ ET4000AK一可实现2D/3D表面形状测量。

ET4000M一高性能的泛用微细形状测定机。

ET4000L一对应大型工件的全自动微细形状测定机。

ET4300一适合12"样品测量。

各机型详细参数请与区域销售联系。