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致东 Radiation 全光谱椭偏仪SE-RD-STD系列
致东 Radiation 全光谱椭偏仪SE-RD-STD系列

产品概述

桌上型膜厚量测设备

安装移动迅速便捷

适用于所有非金属膜质

多样化的应用选择

工业标准数据端口

 

致东 Radiation 全光谱椭偏仪SE-RD-STD系列

  • 详情说明


产品参数
规格 技术指标
品牌 致东 Radiation
衬底类型 透明或半透明衬底
光源 氙灯
光源寿命 >8760H
光谱范围 300-1000nm
入射角 70度（40度-90度 每5度可调）
光斑直径 100x120μm(Min80x100um)
测量时间（不对焦） <2S(单层模型),<约6s（多层模型）
膜厚测量范围（单层膜） 1nm-15μm
对焦 自动讯号对焦
膜厚测量精度 <0.5nm(基于标片)
折射率测量精度 <0.005(基于标片)
厚度重复性精度： <0.5A（1 sigma 标准差,10times）（基于标准片）
折射率重复性精度： <0.0005（1 sigma标准差,10times）（基于标准片）
可测试膜层数量 ≥2层
标片数量 2片
联系方式
全国服务热线： 136 8617 6772 公司地址：

广东省东莞市长安镇横增路9号1栋302室

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