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致东 Radiation 全光谱反射仪SR-RD-STD系列
产品概述
紧凑型膜厚量测设备
安装移动迅速便捷
适用于所有非金属膜质
多样化的应用选择
工业标准数据端口
致东 Radiation 全光谱反射仪SR-RD-STD系列
产品参数
| 项目 |
规格概述 |
| 波长范围 |
420~1000nm |
| Resolution |
1nm |
| 膜厚测定范围 |
250A-20um |
| 膜厚测定精度 |
T=±5A, N=±0.02 based on SiO2 1100A standard wafer |
| 膜厚测定重复性 |
SR Thickness repeatability: ≤ 1Å (1ơ) (at 1100Å, SiO2/Si) |
| 测定光源 |
卤素灯泡(含 Constant Current Power Supply) |
| 透明基板里面反射补正机能 |
包括透明基板背后反射的修正(软件) |
| 测定SPOT径(Spot Size) |
50 um Diameter ( 20 X Objective ),can be smaller with less signal / noise ratio |
| Tact time |
2S（测试1S+分析1S） |
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